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技术信息
1. 设备用途:
该设备用于金属、陶瓷以及玻璃等密封封装元器件的内部水汽及其他气氛含量的检测与分析,可同时测量密封元器件内部各类气体(包括水汽、氮气、氧气、氢气、二氧化碳、氢、氦、氟碳化合物)等浓度,并且可以测量密封器件内部的相对压力值,是密封元器件DPA、失效分析、应用验证中开展内部水汽及其他气氛含量测试和分析的必备设备。
2. 设备工作原理
将被测的封装电子元器件放在密封的腔体内 ,在腔体抽真空后,穿刺针穿透密封器件,气体进入质谱分析系统,气体分子被电离为离子,离子化分子沿分析器Z方向进入四极场,受到X和Y方向电场的作用实现质量分离,测量不同质量离子的分压强,得出封装器件内部的水汽及其它气体含量。质谱数据库超过175,000种,用于比对识别元器件内的未知物质。